硅单晶电阻率标准标准物质 京仪仪器
GBW13701—GBW13708是参照原美国NBS(现为NIST)的标准,以硅为原材料,通过特殊工艺研制而成的标称值不同的一套硅单晶电阻率标准片。
本标准物质一般用于检定和校准制造和使用中的电阻率(方阻)测试仪。GBW13709—GBW13710则是用于校准扩展电阻测量系统的标准片。
电阻率样片规格一般为直径2英寸(51mm)— 4英寸(100mm),厚度500mm—650mm的圆片(Wafer),包装为带标签的标准币式单片晶圆包装盒。
扩展电阻样片规格一般为3mm×5mm矩形薄片,包装为带标签的独立自封袋。